| 科目名 |
プラズマ工学特論 |
| 担当教員 |
八田 章光 |
| 対象学年 |
1年,2年 |
クラス |
院：専門001 |
| 講義室 |
Ａ１０８ |
開講学期 |
２学期 |
| 曜日・時限 |
月３,木３ |
単位区分 |
選択 |
| 授業形態 |
一般講義 |
単位数 |
2 |
| 準備事項 |
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| 備考 |
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| 授業の詳細1 |
【講義の目的】
プラズマは電離した気体であり、物質の第４の状態とも呼ばれる。宇宙の99%はプラズマ状態にあるといわれる。身近なプラズマテレビや蛍光灯、生物のエネルギー源である太陽はいずれもプラズマ状態である。産業界では材料の微細加工や表面コーティングの手法としてプラズマプロセスが用いられ、また高輝度光源としても欠かせない技術となっている。プラズマの物理について基礎的に理解した上で、工業的に広く用いられるプラズマ生成、制御と応用技術の詳細を学ぶ。
【講義の進め方】
教科書に沿って講義する。講義で解説できなかった部分は各自で教科書を勉強し理解する。教科書の範囲を越えて工学的応用の実際や最近の研究動向についても調査し、講義の要点を含めてレポートにまとめて提出する。
【達成目標】
1. プラズマとは何か、身の回りのプラズマの例を挙げ、プラズマを物理的に理解する
2. プラズマを発生させる気体放電の基礎を理解する
3. プラズマを応用するためのプラズマ源について理解する
4. プラズマの応用としてマイクロエレクトロニクス分野での利用について理解する
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| 授業の詳細2 |
【講義計画】
1-4: What is a plasma?, Plasma fundamentals
5-8: Gas discharge fundamentals
9-12: Introduction to plasma sources
13-15: Plasma processing, Application in Microelectronics |
| 授業の詳細3 |
テキスト: Lecture Notes on Principles of Plasma Processing, Francis F. Chen, Jane P. Chang, Kluwer Academic /Plenum Pblishers, ISBN 0-306-47497-2 |
| 授業の詳細4 |
成績評価:
AA: プラズマ理工学全般について良く理解し、先端的な研究開発動向を含む優れたレポートをまとめた。
A: プラズマ物理の基礎を理解し、生成制御技術と工学的応用についてわかりやすいレポートをまとめた。
B: プラズマ理工学の概論を理解し、授業内容を含めてわかりやすくレポートをまとめた。
C: 授業の内容についてまとめたレポートを提出した。
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| 授業の詳細5 |
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| 授業の詳細6 |
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| 授業の詳細7 |
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| 授業の詳細8 |
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| 授業の詳細9 |
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| 授業の詳細10 |
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