注目の新技術「ミスト成膜」の液滴挙動が実証され、実用化に向けて大きく前進！

本学　川原村敏幸准教授（システム工学群兼総合研究所ナノテクノロジー研究センター）と京都大学　藤田静推教授（工学系研究科エネルギー工学連携研究センター）を中心とする研究グループは、安全な原料の溶液に超音波を印加し、発生した直径数ミクロンの霧（ミスト）をガスで成膜する技術（ミストデポジション法）とそのための装置の開発を進めてきました。

　このたび、東京大学生産技術研究所、株式会社FLOSFIAミスト協力のもと、マイクロメーターサイズの液滴挙動の観察に成功し、その液滴が特異な挙動を示すことを確認しました。

　直径が数十から数百マイクロメーターの液滴が飛び跳ねる本現象を利用し、制御することができると、これまで成膜が困難であった立体構造物や広範囲への均質成膜が可能と予想されます。

　＜本研究成果による影響＞　
■常圧化で高品質かつ高均質な成膜が可能　
　（例）液晶パネル、太陽電池、燃料電池、機能性ガラス、機能性化学材料、金属被膜　等

その他メニューOTHER

注目の新技術「ミスト成膜」の液滴挙動が実証され、実用化に向けて大きく前進！

RELATED POST