野本助教がMRS-J国際シンポジウムで講演奨励賞を受賞しました

本学総合研究所マテリアルデザインセンターの野本淳一助教が、「第25回日本MRS-J（Materials Research Society-Japan）年次大会」で開催された国際シンポジウム「機能性酸化物マテリアル」において、講演奨励賞を受賞しました。　

酸化物半導体多結晶薄膜において、前人未踏の良好な配向性制御に成功を収め、それを実験的に実証する手法をも開発されました。

＜受賞タイトル＞　Al2O3添加量の異なるセラミックターゲット用いて直流マグネトロンスパッタ成膜された多結晶Al添加ZnO透明導電膜の構造特性