2017.4.13研究 / 研究者・企業

川原村 敏幸 准教授の研究が日経テクノロジーonlineに取り上げられました

システム工学群 材料革新サスティナブルテクノロジー研究室 川原村 敏幸 准教授が、第64回応用物理学会春季学術講演会(3月14日~17日、パシフィコ横浜)で講演した内容が、日経テクノロジーonlineのコラム「鵜飼育弘のテクテク見聞録」に取り上げられました。

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管内壁への機能膜形成を目的とした
第4世代ミストCVDシステム

講演の題目は「時間的・空間的隔たり産み出すミスト流を用いた新反応制御技術の開発」で、川原村 准教授が研究する薄膜成膜方法「ミストCVD法」について発表したものです。

同コラムは、ソニーなどで活躍したディスプレー技術のエキスパートである鵜飼 育弘氏が全国各地で開催される展示会や学会を独自取材し、注目技術について紹介するものです。

掲載記事:「非真空IGZO成膜の実現なるか、ミストCVDの可能性

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