教員情報詳細
池上 浩IKENOUE Hiroshi
- 男性
- 職位: 特任教授
- 所属: 総合研究所
- researchmap: https://researchmap.jp/ikenoue
教員略歴
学位 | 博士(工学) | |
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学歴 |
愛媛大学理学部物理学科 卒業(1992)
名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻 博士課程前期課程 修了(1994) 名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻 博士課程後期課程 修了(1997) |
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職歴 |
㈱東芝(1997~2005)
高知工業高等専門学校准教授(2005~2011) 九州大学 大学院システム情報科学研究院准教授(2011~2016) 九州大学 大学院システム情報科学研究院教授(2016~2023) 高知工科大学特任教授(2023~) |
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資格 | ||
専門分野 |
レーザープロセシング
半導体デバイス ナノ材料 AI |
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研究室 | 名称 | 光量子プロセス研究室 |
詳細 |
レーザーは、半導体デバイス、自動車、医療、材料など様々な分野の製造プロセスに用いられている。 本研究室では、エキシマレーザー、固体レーザー、半導体レーザー、CO2レーザーなどの様々なレーザーを用いた製造プロセスの研究開発を行い、企業との連携を通して、研究成果を社会実装に結びつける活動を行っています。 |
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所属学会 |
IEEE Photonics Society/Electron Devices Society
応用物理学会 レーザー学会 レーザ加工学会 |
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本年度担当講義
学部・学群 | |
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大学院 |
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研究シーズ
相談可能な領域 |
光・レーザープロセス
半導体 ナノ材料 AI 産学連携 |
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現在の研究 |
光・量子を活用した産学官共創社会実装拠点の構築
JST-ASTEP産学共同(本格型) 電動車両用駆動モータのステータの量産を可能とする平角銅線のAI制御高速、高品質レーザ溶接加工装置の開発 |
メッセージ
研究業績
代表的な研究論文
タイトル | 著者 | 発表誌 | 発表年 |
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Threshold voltage uniformity improvement by introducing charge injection tuning for low-temperature poly-Si thin film transistors with metal/oxide/nitride/oxide/silicon structure | Tetsuya Goto,Tomoyuki Suwa,Keita Katayama,Shu Nishida,Hiroshi Ikenoue,Shigetoshi Sugawa | Japanese Journal of Applied Physics,Vol.63,pp.02SP51-1-02SP51-6 | 2024 |
Low-volume-loss surface polishing with a krypton fluoride excimer laser for polycrystalline diamond films | Y. Katamune,K. Murasawa,T. Yoshitake,T. Kikuchi,K. Imokawa,H. IKENOUE | Applied Physics Letters,Vol.123,pp.031604-1-031604-6 | 2024 |
Modulation of Schottky barrier at metal/Ge contacts by phosphoric acid coating and excimer laser annealing | Keita Katayama,Hiroshi Ikenoue,Taizoh Sadoh | Materials Science in Semiconductor Processing,Vol.160,pp.107433-7 pp. | 2023 |
Laser doping mechanism of 4H-SiC by KrF excimer laser irradiation using SiNx thin films | Takuma Yasunami,Daisuke Nakamura,Keita Katayama,Toshifumi Kikuchi,Hiroshi Ikenoue | Japanese Journal of Applied Physics,Vol.62,pp.SC1039-1-SC1039-5 | 2023 |
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学会発表・講演など
- Effect of ring-shaped beam on microparticle fabrication and laser welding,SPIE Photonics West 2024(2024)
- Influence of flow rate and gas type with a novel nozzle capable of simultaneously gas flow and suction on weld quality in laser welding,SPIE Photonics west 2024(2024)
- Joint quality assessment by machine learning using characterized surface thermal radiation images of laser welding process,SPIE Photonics West 2024(2024)
- Ultra-High Concentration Doping by Excimer Laser Annealing Using Solid-Diffusion Source,SSDM2023(2023)
- Generation of nanoparticles by pulsed laser deposition using non-thermal ablation and thermal ablation,The 12th Asia-Pacific Laser Symposium (APLS)(2023)
- Controlling grain size of LTPS films for high-performance TFTs formed by excimer laser annealing,The 12th Asia-Pacific Laser Symposium (APLS)(2023)
- Formation of pn Junctions by Doping Using Excimer Laser Annealing,The 12th Asia-Pacific Laser Symposium (APLS)(2023)
- Time-resolved observation of surface temperature distribution of Silicon irradiated by nanosecond laser pulse using a nanosecond imaging technique,Lasers in Manufacturing (LiM) 2023(2023)
- Nanosecond time-resolved two-dimensional temperature estimation of nanosecond laser-irradiated silicon,SPIE Photonics West 2023(2023)
- Excimer laser doping for the fabrication of 4H-SiC power devices,SPIE Photonics West 2023(2023)
- Excimer Laser Doping for PN Junction Formation with Extremely Low Thermal Budget,2023 30th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD)(2023)
競争的資金など
研究課題 | 事業名等 | 研究期間 | 受託先 | 担当教員 |
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電動車両用駆動モーターのステータの量産を可能とする平角銅線のAI制御高速、高品質レーザ溶接加工装置の開発 | 研究成果最適展開支援プログラム 産学共同(本格型)A-STEP | 2021~2024 | 国立研究開発法人科学技術振興機構(JST) | 池上 浩 |
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社会貢献及び広報活動
学外委員・学会活動など
- 一般社団法人 光産業技術振興協会 多元技術融合光プロセス研究会 幹事(2023~)
- 一般社団法人 レーザー学会 レーザー学会学術講演会 第45回年次大会 現地委員
学会誌・専門誌
タイトル | 著者 | 掲載誌 | 出版年 |
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半導体産業と光・レーザー技術 ディスプレイ・半導体製造からEV/自動車製造まで | 松尾美恵,池上 浩 | OPTRONICS MOOK「レーザー加工」 | 2024 |
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