教員情報詳細

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池上 浩IKENOUE Hiroshi

教員略歴

学位 博士(工学)
学歴 愛媛大学理学部物理学科 卒業(1992)
名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻 博士課程前期課程 修了(1994)
名古屋大学大学院工学研究科結晶材料工学専攻 博士課程後期課程 修了(1997)
職歴 ㈱東芝(1997~2005)
高知工業高等専門学校准教授(2005~2011)
九州大学 大学院システム情報科学研究院准教授(2011~2016)
九州大学 大学院システム情報科学研究院教授(2016~2023)
高知工科大学特任教授(2023~)
資格
専門分野 レーザープロセシング
半導体デバイス
ナノ材料
AI
研究室 名称 光量子プロセス研究室
詳細  レーザーは、半導体デバイス、自動車、医療、材料など様々な分野の製造プロセスに用いられている。
 本研究室では、エキシマレーザー、固体レーザー、半導体レーザー、CO2レーザーなどの様々なレーザーを用いた製造プロセスの研究開発を行い、企業との連携を通して、研究成果を社会実装に結びつける活動を行っています。
所属学会 IEEE Photonics Society/Electron Devices Society
応用物理学会
レーザー学会
レーザ加工学会

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本年度担当講義

学部・学群
大学院

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研究シーズ

相談可能な領域 光・レーザープロセス
半導体
ナノ材料
AI
産学連携
現在の研究 光・量子を活用した産学官共創社会実装拠点の構築

JST-ASTEP産学共同(本格型)
電動車両用駆動モータのステータの量産を可能とする平角銅線のAI制御高速、高品質レーザ溶接加工装置の開発

メッセージ

研究業績

代表的な研究論文

タイトル 著者 発表誌 発表年
Threshold voltage uniformity improvement by introducing charge injection tuning for low-temperature poly-Si thin film transistors with metal/oxide/nitride/oxide/silicon structure Tetsuya Goto,Tomoyuki Suwa,Keita Katayama,Shu Nishida,Hiroshi Ikenoue,Shigetoshi Sugawa Japanese Journal of Applied Physics,Vol.63,pp.02SP51-1-02SP51-6 2024
Low-volume-loss surface polishing with a krypton fluoride excimer laser for polycrystalline diamond films Y. Katamune,K. Murasawa,T. Yoshitake,T. Kikuchi,K. Imokawa,H. IKENOUE Applied Physics Letters,Vol.123,pp.031604-1-031604-6 2024
Modulation of Schottky barrier at metal/Ge contacts by phosphoric acid coating and excimer laser annealing Keita Katayama,Hiroshi Ikenoue,Taizoh Sadoh Materials Science in Semiconductor Processing,Vol.160,pp.107433-7 pp. 2023
Laser doping mechanism of 4H-SiC by KrF excimer laser irradiation using SiNx thin films Takuma Yasunami,Daisuke Nakamura,Keita Katayama,Toshifumi Kikuchi,Hiroshi Ikenoue Japanese Journal of Applied Physics,Vol.62,pp.SC1039-1-SC1039-5 2023

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学会発表・講演など

  1. Effect of ring-shaped beam on microparticle fabrication and laser welding,SPIE Photonics West 2024(2024)
  2. Influence of flow rate and gas type with a novel nozzle capable of simultaneously gas flow and suction on weld quality in laser welding,SPIE Photonics west 2024(2024)
  3. Joint quality assessment by machine learning using characterized surface thermal radiation images of laser welding process,SPIE Photonics West 2024(2024)
  4. Ultra-High Concentration Doping by Excimer Laser Annealing Using Solid-Diffusion Source,SSDM2023(2023)
  5. Generation of nanoparticles by pulsed laser deposition using non-thermal ablation and thermal ablation,The 12th Asia-Pacific Laser Symposium (APLS)(2023)
  6. Controlling grain size of LTPS films for high-performance TFTs formed by excimer laser annealing,The 12th Asia-Pacific Laser Symposium (APLS)(2023)
  7. Formation of pn Junctions by Doping Using Excimer Laser Annealing,The 12th Asia-Pacific Laser Symposium (APLS)(2023)
  8. Time-resolved observation of surface temperature distribution of Silicon irradiated by nanosecond laser pulse using a nanosecond imaging technique,Lasers in Manufacturing (LiM) 2023(2023)
  9. Nanosecond time-resolved two-dimensional temperature estimation of nanosecond laser-irradiated silicon,SPIE Photonics West 2023(2023)
  10. Excimer laser doping for the fabrication of 4H-SiC power devices,SPIE Photonics West 2023(2023)
  11. Excimer Laser Doping for PN Junction Formation with Extremely Low Thermal Budget,2023 30th International Workshop on Active-Matrix Flatpanel Displays and Devices (AM-FPD)(2023)

競争的資金など

研究課題 事業名等 研究期間 受託先 担当教員
電動車両用駆動モーターのステータの量産を可能とする平角銅線のAI制御高速、高品質レーザ溶接加工装置の開発 研究成果最適展開支援プログラム 産学共同(本格型)A-STEP 2021~2024 国立研究開発法人科学技術振興機構(JST) 池上 浩

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社会貢献及び広報活動

学外委員・学会活動など

  1. 一般社団法人 光産業技術振興協会 多元技術融合光プロセス研究会 幹事(2023~)
  2. 一般社団法人 レーザー学会 レーザー学会学術講演会 第45回年次大会 現地委員

学会誌・専門誌

タイトル 著者 掲載誌 出版年
半導体産業と光・レーザー技術 ディスプレイ・半導体製造からEV/自動車製造まで 松尾美恵,池上 浩 OPTRONICS MOOK「レーザー加工」 2024

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